| 研究型大平台晶圆检测显微镜：DMM-600C
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一、晶圆检测显微镜仪器的主要用途和特点
DMM-600系列研究型晶圆检测显微镜（大平台晶圆检测显微镜）配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，是金属学、矿物学、精密工程学、电子学等研究的理想仪器。适用于学校、科研、工厂等部门使用。
DMM-600C研究型晶圆检测显微镜（大平台晶圆检测显微镜）是将精锐的光学显微镜技术、先进的光电转换技术、尖端的计算机成像技术完美地结合在一起而开发研制成功的一项高科技产品。既可人工观察金相图像,又可以在计算机上很方便地适时观察金相图像，并以随时捕捉下来,从而对金相图谱进行分析,评级等,还可以保存或打印出高像素金相照片。
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| 二、晶圆检测显微镜仪器的主要技术指标 |
| 金相显微镜组件及规格 |
| 目镜 |
大视野 |
WF10X(Φ18mm) |
| WF20X(Φ8.5mm) |
| 平场分划 |
10X(0.10mm/格值) |
| 物镜 |
平场消色差
（无盖玻片） |
放大倍数/数值孔径 |
工作距离 |
| PL5X/0.12 |
18.3 |
| PLL10X/0.25 |
8.9 |
| PLL20X/0.40 |
8.7 |
| PLL40X/0.60（弹簧） |
3.7 |
| PL50X/0.70（弹簧） |
2.02 |
| PL80X/0.80（弹簧） |
0.96 |
| 目镜筒 |
三目镜 |
转轴式，倾斜30度，包括检偏振片 |
| 仪器主体 |
粗调、微调手轮，微调格值为0.002MM（底座及支架） |
| 偏光装置 |
可插入式起偏振片,垂直照明装置,能进行一般金相分析、微粒分析测试，还能对不透明物体进行分析、观察。 |
| 载物台 |
尺寸：250
X 230mm有快速移动装置，移动范围：153
X 153mm |
| 调焦机构 |
同轴粗微动调焦机构,
调焦范围15mm 微动格值2μm |
| 照明系统 |
落射照明
6V 20W ，卤素灯，亮度可调带起偏振片落射照明
6V 20W ，卤素灯，亮度可调 |
| 滤片组 |
蓝、黄、绿、磨砂 |
| 转换器
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滚珠内定位内弯,五孔转换 |
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| 三、晶圆检测显微镜仪器主体分解 |
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DMM-600金相显微镜配有带屈光补偿的棱镜型双目镜筒。能调节左右目镜的屈光度。这种设计使得在调节瞳距时，物镜的齐焦面保持不变，即使更换不同倍率的物镜，也只需做最少量的调焦。目镜圈由橡皮制成，以便更舒适的观察。 |
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高质量的五孔转换器内部设有机械定位。此设计使旋转更平滑，也增强了耐用性。同时，转换器周圈带有突楞，使得旋转更加方便，无需触及物镜。 |
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双目镜筒 |
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五孔转换器 |
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X、Y轴平行移动，X轴50mm,Y轴70mm,高精度的平移设计确保观察式样水平移动，移动精度0.1mm。 |
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载物台调动手轮 |
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同轴粗微调焦手轮位置在载物台后边下方，而且他和载物台移动手柄的位置接近，因此操作者无需扭曲肩膀，可保持自然的姿势进行操作。 |
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多功能三目头设计，使得三目头既可接彩色摄像器，也可接数码相机，使传统的人眼观察同时还可以电脑观察或者数码相机拍照。 |
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同轴粗微调焦手轮 |
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三目头 |
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| 此牢固安装在主机上的机械载物台是内置式双层机构，可在XY方向进行平滑移动。由于这种机构是内置式设计，而不是附加而不是附加的，因而X向导轨不会突出载物台台面，这种设计增大了载 |
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物台上方的空间，使对标本操作变得更方便、快捷，同时，载物台在X轴的移动也更加平滑和精密。载物台表面光滑，使载玻片能够更平滑、自如地移动。 |
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双层机构机械载物台 |
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| 四、晶圆检测显微镜系统的组成 |
1、金相显微镜DMM-600
2、电脑适配镜
3、彩色摄像器(CCD)
4、A/D转换器(彩色图象采集设备)
5、计算机（选购） |
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| 五、晶圆检测显微镜选购部分 |
1.金相分析软件
2.200万像素成像器,300万像素成像器,400万像素成像器
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| 六、晶圆检测显微镜同类仪器的比较 |
1、DMM-600C晶圆检测显微镜
2、DMM-600D晶圆检测显微镜
3、DMM-660C晶圆检测显微镜
4、DMM-660D晶圆检测显微镜
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| 七、晶圆检测显微镜相关设备 |
金相设备
金相抛光机
金相切割机
金相砂纸
金相切割片
金相镶嵌机
金相预磨机
显微硬度计
端淬试验机
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